美国ALICAT 流量控制器 2 SLPM
多功能质量流量控制器。完全独立并准备用于您的应用程序，或作为实验室的多功能工具集成到数据收集系统中：
规格
控制范围：0.0002至2 SLPM（满量程的0.01％至100％）
流量测量精度：读数的±0.6％或满量程的±0.1％-取较大值
流量测量重复性：±（读数的0.1％+满量程的0.02％）
工作压力范围：11.5至160 PSIA
压力读数精度：读数的±0.5％或±0.07 PSIA-取较大值
工作温度范围：-10至+ 60°C
温度读数精度：±0.75°C
预热时间：<1秒
典型的控制响应时间：最快40 ms（T63）
常闭阀（不通电时阀关闭）
压降：3 PSID
过程连接：1/8“ NPT-母头
尺寸：4.067“ x3.588” x1.050“
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